原子吸收分光光度計可以叫做原子吸收光譜儀，主要是針對氣態自由原子，將原子中發射出來的特征光譜輻射進行吸收的現象叫做原子吸收。想要將這一現象轉變成為化學定量分析，就必須將樣品中的元素原子化，并在一個光源下給出同樣的原子光譜輻射，讓這個輻射通過元素原子化區從而產生消光值。根據消光值和標準濃度之間的關系曲線，最終可以得到樣本中測試元素的含量。
原子吸收分光光度計一般組成的部件來自于四個，分別為光源、樣品原子化器、單色儀和數據處理系統。其中樣品原子化器主要分為火焰原子化器和電熱原子化器，它們之間有著不同的優缺點，因此所適用的方向也是完全不同的。
火焰原子化器主要有著操作簡單、重現性好的顯著特點，它對于大多數的元素都有著較高的靈敏度，因此適用的范圍廣泛。但是它的靈敏度不行，一般不能用來直接分析固體樣本；而電熱原子化器主要有著原子化效率高、利用率高、靈敏度高的特點，對于難熔的元素測定有顯著幫助。但是，它的組成會有不均勻性影響并受到的干擾性較大，需要對其進行反復校正。
ICP-MS主要又稱為電感耦合等離子質譜儀，是將電感耦合等離子作為離子源來進行質譜檢測的無機多元素分析技術。擁有這項技術的質譜儀擁有靈敏度、背景信號低、分析速度、線性范圍寬等較為顯著的特點，與此同時，還能提供同位素的信息。
ICP-MS常常會和原子吸收分光光度計一同在實驗中適用來測試樣品的定性定量，而適用的范圍大多數都是針對金屬元素進行探測的。主要針對環保行業中的金屬污染檢測、食品行業中的金屬
