輝光放電是一種低壓放電現象。工作壓力一般低于10巴。它的基本結構是將兩塊平行的電極板放在一個封閉的容器中，利用產生的電子激發中性原子或分子。當受激粒子從受激態落到基態時，它們將以光的形式釋放能量。
輝光放電光譜法是一種可以直接分析固體樣品的分析技術。雖然無法在原子水平上進行表面分析，但輝光放電光譜儀在表面和深表面分析方面具有非常顯著的優勢，而且相對便宜，因此可以非常快速地進行分析，并非常方便地進行定量。
GCMS也可用于微光譜分析。
基本工作原理
輝光放電光譜儀屬于發射光譜分析儀器，與其他發射光譜儀類似。其基本工作原理基本相同，即使用光源使被測樣品元件處于激發狀態。當樣品元素的外部電子從高能狀態返回低能狀態時，發射特征光譜。通過元素發射的特征光譜分析樣品中包含的元素。
作為輝光放電儀器的光源，輝光放電燈在RF輝光放電光源中具有兩個電極。直徑為4mm的管狀銅電極是其中之一，它是陽極，陽極接地。而樣品充當陰極以維持由高頻（RF）電源感應的RF電勢。當低壓氬充入輝光放電燈時，燈中會自發產生少量氬離子。在射頻電位的作用下，少量氬離子穿過陽極-陰極間隙，引起高速振蕩。加速的氬離子與氬原子碰撞，產生更多的氬離子和電子，從而形成等離子體，即
輝光放電。
來自樣品的光被光學系統聚焦和分離，并到達高動態范圍探測器HDD。高動態范圍檢測器HDD接收光信號。光信號被轉換成電信號并發送到計算機，以供電子控制系統處理。當逐層測試表面時，可以同時給出元素濃度與深度之間的關系。
